液態(tài)感光線路油墨應用工藝
2010-08-27 16:32 來源:北鎮(zhèn)青網(wǎng)-北鎮(zhèn)新 責編:Sunny
- 摘要:
- 嚴格控制工藝條件,是保證產(chǎn)品質量的前提。只有根據(jù)各個公司的工藝裝備和工藝技術水平,采用行之有效的操作技巧及工藝方法,加強全面質量管理(TQM),才能大大提高產(chǎn)品的合格率。
【CPP114】訊:液態(tài)感光油墨應用工藝流程圖:
基板的表面處理--涂布(絲印)--預烘--曝光--顯影--干燥--檢查--蝕刻--褪膜--檢查(備注:內層板)
基板的表面處理--涂布(絲印)--預烘--曝光--顯影--干燥--檢查--電鍍--褪膜--蝕刻--檢查(備注:外層板)
一.液態(tài)光致抗蝕劑(Liquid Photoresist)
液態(tài)光致抗蝕劑(簡稱濕膜)是由感光性樹脂,配合感光劑、色料、填料及溶劑等制成,經(jīng)光照射后產(chǎn)生光聚合反應而得到圖形,屬負性感光聚合型。與傳統(tǒng)抗蝕油墨及干膜相比具有如下特點:
a)不需要制絲網(wǎng)模版。采用底片接觸曝光成像(Contact Printig),可避免網(wǎng)印所帶來的滲透、污點、陰影、圖像失真等缺陷。解像度(Resolution)大大提高,傳統(tǒng)油墨解像度為200um,濕膜可達40um。
b)由于是光固化反應結膜,其膜的密貼性、結合性、抗蝕能力(Etch Resistance)及其抗電鍍能力比傳統(tǒng)油墨好。
c)濕膜涂布方式靈活、多樣,工藝操作性強,易于掌握。
d)與干膜相比,液態(tài)濕膜與基板密貼性好,可填充銅箔表面輕微的凹坑、劃痕等缺陷。再則濕膜薄可達5~10um,只有干膜的1/3左右,而且濕膜上層沒有覆蓋膜(在干膜上層覆蓋有約為25um厚的聚酯蓋膜),故其圖形的解像度、清晰度高。如:在曝光時間為4S/7K時,干膜的解像度為75um,而濕膜可達到40um。從而保證了產(chǎn)品質量。
e)以前使用干膜常出現(xiàn)的起翹、電鍍滲鍍、線路不整齊等問題。濕膜是液態(tài)膜,不起翹、滲鍍、線路整齊,涂覆工序到顯形工序允許擱置時間可達48hr,解決了生產(chǎn)工序之間的關聯(lián)矛盾,提高了生產(chǎn)效率。
f)對于當今日益推廣的化學鍍鎳金工藝,一般干膜不耐鍍金液,而濕膜耐鍍金液。
g)由于是液態(tài)濕膜,可撓性強,尤其適用于撓性板(Flexible Printed Board)制作。
h)濕膜由于本身厚度減薄而物d料成本降低,且與干膜相比,不需要載體聚酯蓋膜(Polyester Cover sheet)和起保護作用的聚乙烯隔膜(Polyettylene Separator Sheet),而且沒有象干膜裁剪時那樣大的浪費,不需要處理后續(xù)廢棄薄膜因此,使用濕膜大約可以節(jié)約成本每平方米30~50%。
i)濕膜屬單液油墨容易存貯保管,一般放置溫度為20±2℃,相對濕度為55±5%,陰涼處密封保存,貯存期(Storage Life):4~6個月。
j)使用范圍廣,可用作MLB內層線路圖形制作及孔化板耐電鍍圖形制作,也可與堵孔工藝結合作為掩孔蝕刻圖形抗蝕劑,還可用于圖形模板的制作等。
但是,濕膜厚度(Thickness)均勻性不及干膜,涂覆之后的烘干程度也不易掌握好增加了曝光困難.故操作時務必仔細。另外,濕膜中的助劑、溶劑、引發(fā)劑等的揮發(fā),對環(huán)境造成污染,尤其是對操作者有一定傷害。因此,工作場地必須通風良好。
目前,使用的液態(tài)光致抗蝕劑,外觀呈粘稠狀,顏色多為藍色(Blue)。如:臺灣精化公司產(chǎn)GSP1550、臺灣緹穎公司產(chǎn)APR-700等,此類皆屬于單液油墨,可用簡單的網(wǎng)印方式涂覆,用稀堿水顯影,用酸性或弱堿性蝕刻液蝕刻。
液態(tài)光致抗蝕劑的使用壽命(Lifespan):其使用壽命與操作環(huán)境和時間有關。一般溫度≤25℃,相對濕度≤60%,無塵室黃光下操作,使用壽命為3天,最好24hr內使用完。
二.液態(tài)光致抗蝕劑圖形轉移
液態(tài)光致抗蝕劑工藝流程:
上道工序→前處理→涂覆→預烘→定位→曝光→顯影→干燥→檢查修版→蝕刻或電鍍→去膜→交下工序
1.前處理(Pre-cleaning)
前處理的主要目的是去除銅表面的油脂(Grease)、氧化層(Oxidized Layer)、灰塵(Dust)和顆粒(Particle)殘留、水分(Moisture)和化學物質(Chemicals)特別是堿性物質(Alkaline)保證銅(Copper)表面清潔度和粗糙度,制造均勻合適的銅表面,提高感光膠與銅箔的結合力,濕膜與干膜要求有所不同,它更側重于清潔度。
前處理的方法有:機械研磨法、化學前處理法及兩者相結合之方法。
1)機械研磨法
磨板條件:浸酸時間:6~8s。H2SO4:2.5%。水洗:5s~8s。尼龍刷(Nylon Brush):500~800目,大部分采用600目。磨板速度:1.2~1.5m/min,間隔3~5cm。水壓:2~3kg/cm2。
嚴格控制工藝參數(shù),保證板面烘干效果,從而使磨出的板面無雜質、膠跡及氧化現(xiàn)象。磨完板后最好進行防氧化處理。
2)化學前處理法
對于MLB內層板(Inner Layer Board),因基材較薄,不宜采用機械研磨法而常采用化學前處理法。
典型的化學前處理工藝:
去油→清洗→微蝕→清洗→烘干
去油:Na3PO4 40~60g/l Na2CO3 40~60g/l NaOH 10~20g/l溫度:40~60℃微蝕(Mi-croetehing):NaS2O8 170~200g/l H2SO4(98%)2%V/V溫度:20~40℃
基板的表面處理--涂布(絲印)--預烘--曝光--顯影--干燥--檢查--蝕刻--褪膜--檢查(備注:內層板)
基板的表面處理--涂布(絲印)--預烘--曝光--顯影--干燥--檢查--電鍍--褪膜--蝕刻--檢查(備注:外層板)
一.液態(tài)光致抗蝕劑(Liquid Photoresist)
液態(tài)光致抗蝕劑(簡稱濕膜)是由感光性樹脂,配合感光劑、色料、填料及溶劑等制成,經(jīng)光照射后產(chǎn)生光聚合反應而得到圖形,屬負性感光聚合型。與傳統(tǒng)抗蝕油墨及干膜相比具有如下特點:
a)不需要制絲網(wǎng)模版。采用底片接觸曝光成像(Contact Printig),可避免網(wǎng)印所帶來的滲透、污點、陰影、圖像失真等缺陷。解像度(Resolution)大大提高,傳統(tǒng)油墨解像度為200um,濕膜可達40um。
b)由于是光固化反應結膜,其膜的密貼性、結合性、抗蝕能力(Etch Resistance)及其抗電鍍能力比傳統(tǒng)油墨好。
c)濕膜涂布方式靈活、多樣,工藝操作性強,易于掌握。
d)與干膜相比,液態(tài)濕膜與基板密貼性好,可填充銅箔表面輕微的凹坑、劃痕等缺陷。再則濕膜薄可達5~10um,只有干膜的1/3左右,而且濕膜上層沒有覆蓋膜(在干膜上層覆蓋有約為25um厚的聚酯蓋膜),故其圖形的解像度、清晰度高。如:在曝光時間為4S/7K時,干膜的解像度為75um,而濕膜可達到40um。從而保證了產(chǎn)品質量。
e)以前使用干膜常出現(xiàn)的起翹、電鍍滲鍍、線路不整齊等問題。濕膜是液態(tài)膜,不起翹、滲鍍、線路整齊,涂覆工序到顯形工序允許擱置時間可達48hr,解決了生產(chǎn)工序之間的關聯(lián)矛盾,提高了生產(chǎn)效率。
f)對于當今日益推廣的化學鍍鎳金工藝,一般干膜不耐鍍金液,而濕膜耐鍍金液。
g)由于是液態(tài)濕膜,可撓性強,尤其適用于撓性板(Flexible Printed Board)制作。
h)濕膜由于本身厚度減薄而物d料成本降低,且與干膜相比,不需要載體聚酯蓋膜(Polyester Cover sheet)和起保護作用的聚乙烯隔膜(Polyettylene Separator Sheet),而且沒有象干膜裁剪時那樣大的浪費,不需要處理后續(xù)廢棄薄膜因此,使用濕膜大約可以節(jié)約成本每平方米30~50%。
i)濕膜屬單液油墨容易存貯保管,一般放置溫度為20±2℃,相對濕度為55±5%,陰涼處密封保存,貯存期(Storage Life):4~6個月。
j)使用范圍廣,可用作MLB內層線路圖形制作及孔化板耐電鍍圖形制作,也可與堵孔工藝結合作為掩孔蝕刻圖形抗蝕劑,還可用于圖形模板的制作等。
但是,濕膜厚度(Thickness)均勻性不及干膜,涂覆之后的烘干程度也不易掌握好增加了曝光困難.故操作時務必仔細。另外,濕膜中的助劑、溶劑、引發(fā)劑等的揮發(fā),對環(huán)境造成污染,尤其是對操作者有一定傷害。因此,工作場地必須通風良好。
目前,使用的液態(tài)光致抗蝕劑,外觀呈粘稠狀,顏色多為藍色(Blue)。如:臺灣精化公司產(chǎn)GSP1550、臺灣緹穎公司產(chǎn)APR-700等,此類皆屬于單液油墨,可用簡單的網(wǎng)印方式涂覆,用稀堿水顯影,用酸性或弱堿性蝕刻液蝕刻。
液態(tài)光致抗蝕劑的使用壽命(Lifespan):其使用壽命與操作環(huán)境和時間有關。一般溫度≤25℃,相對濕度≤60%,無塵室黃光下操作,使用壽命為3天,最好24hr內使用完。
二.液態(tài)光致抗蝕劑圖形轉移
液態(tài)光致抗蝕劑工藝流程:
上道工序→前處理→涂覆→預烘→定位→曝光→顯影→干燥→檢查修版→蝕刻或電鍍→去膜→交下工序
1.前處理(Pre-cleaning)
前處理的主要目的是去除銅表面的油脂(Grease)、氧化層(Oxidized Layer)、灰塵(Dust)和顆粒(Particle)殘留、水分(Moisture)和化學物質(Chemicals)特別是堿性物質(Alkaline)保證銅(Copper)表面清潔度和粗糙度,制造均勻合適的銅表面,提高感光膠與銅箔的結合力,濕膜與干膜要求有所不同,它更側重于清潔度。
前處理的方法有:機械研磨法、化學前處理法及兩者相結合之方法。
1)機械研磨法
磨板條件:浸酸時間:6~8s。H2SO4:2.5%。水洗:5s~8s。尼龍刷(Nylon Brush):500~800目,大部分采用600目。磨板速度:1.2~1.5m/min,間隔3~5cm。水壓:2~3kg/cm2。
嚴格控制工藝參數(shù),保證板面烘干效果,從而使磨出的板面無雜質、膠跡及氧化現(xiàn)象。磨完板后最好進行防氧化處理。
2)化學前處理法
對于MLB內層板(Inner Layer Board),因基材較薄,不宜采用機械研磨法而常采用化學前處理法。
典型的化學前處理工藝:
去油→清洗→微蝕→清洗→烘干
去油:Na3PO4 40~60g/l Na2CO3 40~60g/l NaOH 10~20g/l溫度:40~60℃微蝕(Mi-croetehing):NaS2O8 170~200g/l H2SO4(98%)2%V/V溫度:20~40℃
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